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江西萬年芯微電子年產10000kk集成半導體電路芯片項目周報(第二十周)

江西萬年芯微電子年產10000kk集成半導體電路芯片項目周報(第二十周)

一、 項目整體進展概述

本周(第二十周),江西萬年芯微電子有限公司年產10000kk集成半導體電路芯片項目各項工作按計劃穩步推進。項目整體已進入主體廠房潔凈室裝修、核心工藝設備進場安裝的關鍵階段。本周工作重心集中在潔凈室內部管道系統安裝、部分動力設備單機調試,以及光刻機等首批核心設備的開箱檢驗與定位準備上。項目總體進度符合主計劃要求,累計完成總工程量的約65%。

二、 本周主要工作完成情況

  1. 土建與潔凈室工程:
  • 完成主廠房二層核心區潔凈室FFU(風機過濾單元)吊架安裝的90%。
  • 完成大宗氣體(氮氣、氧氣、氬氣)管道主管路鋪設及壓力測試。
  • 工藝冷卻水系統(PCW)主管路安裝完成,正在進行支管連接。
  • 化學品供應系統的管材入場檢驗完成,開始進行施工技術交底。
  1. 機電安裝工程:
  • 完成兩套冰水主機的單機通電調試,運行參數正常。
  • 廠務監控系統(FMCS)的硬件柜體安裝就位,開始進行現場傳感器布線。
  • 應急發電機完成燃料系統連接,待消防驗收后進行帶載測試。
  1. 核心設備進展:
  • 首批ASML光刻機及配套設備已運抵項目現場倉庫,完成外包裝檢查。項目團隊協同設備供應商工程師,本周內完成了開箱前場地條件(溫濕度、潔凈度、地面承重)的最終確認。
  • 首批薄膜沉積(CVD/PVD)設備及刻蝕設備已完成廠內FAT(出廠驗收),預計下周抵運。
  • 首批晶圓檢測設備的基座預埋件安裝完成。
  1. 質量與安全管理:
  • 組織進行了針對潔凈室施工規范的專項質量檢查,共發現3處一般性不符合項,已下發整改單并跟蹤閉環。
  • 開展了“高處作業與臨時用電”安全周主題活動,進行安全培訓一次,現場巡查發現并糾正違章行為2起,本周安全生產形勢平穩,無事故報告。

三、 存在的問題與應對措施

  • 問題: 部分進口特種閥門因國際物流原因,到貨時間比原計劃延遲約一周,可能影響后續局部管線的壓力測試進度。
  • 措施: 已啟動備用供應商渠道,協調加急采購部分可替代的國產閥門用于臨時測試。物流部門正密切跟蹤延遲閥門的清關與運輸狀態,爭取將影響降至最低。項目組已調整相關區域的施工順序,優先進行其他系統的作業。

四、 下周(第二十一周)工作計劃

  1. 開始核心潔凈區高架地板的安裝工作。
  2. 進行光刻機等核心設備的正式開箱、就位及初步調平。
  3. 啟動超純水系統(UPW)模塊的現場組裝。
  4. 繼續推進工藝真空系統的管道安裝。
  5. 安排首批到貨的國產工藝設備(如清洗機)進線安裝。
  6. 計劃組織一次針對設備搬運與就位的專項安全演練。

五、 需協調與支持事項

提請公司總部協助加快部分長期交期關鍵備品備件(如設備專用濾芯)的采購審批流程,以確保后續設備調試的連續性。

報告部門: 江西萬年芯微電子項目指揮部
日期: [請填寫具體報告日期]

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更新時間:2026-06-18 22:37:35

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